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源頭廠家，自主研發(fā)，支持定制，一年質(zhì)保，終身售后
技術(shù)特點(diǎn)
●支持軸向進(jìn)給(In- Feed)磨削原理;
●設(shè)備配有在線測(cè)量?jī)x單元，精確控制減薄厚度;
●配有具有自主產(chǎn)權(quán)的12英寸超精密空氣主軸;
●粗磨和精磨軌跡重合技術(shù)，有效提高減薄加工穩(wěn)定性，保證加工精度;
●設(shè)備具備擴(kuò)展功能，可與單軸拋光機(jī)、多功能晶圓保護(hù)膜處理設(shè)備組成聯(lián)機(jī)系統(tǒng)，實(shí)現(xiàn)晶圓減薄到去應(yīng)力技術(shù)的一體化。
性能指標(biāo)
全自動(dòng)減薄機(jī) | GR-1251 | |
最大加工物尺寸 | Φ300mm | |
主軸 | 主軸數(shù)量 | 2 |
輸出功率 | 7.5KW | |
轉(zhuǎn)速 | 1000-4000rpm | |
Z軸 | 行程 | 120mm |
進(jìn)給速度 | 0.00001?0.08mm/s | |
最大返回速度 | 50mm/s | |
分辨率 | 0.1μm | |
承片臺(tái)數(shù)量 | 3 | |
工作臺(tái)轉(zhuǎn)速 | 0-300rpm | |
減薄精度 | 片內(nèi)厚度偏差 | <3μm |
片間厚度偏差 | <±3μm | |
表面粗糙度Ra | <0.2μm (2000#Grinding wheel, Si) | |
測(cè)量?jī)x | 測(cè)量范圍 | 0-1800μm |
分辨率 | 0.1μm | |
重復(fù)精度 | ±0.5μm | |
其他規(guī)格 | 外形尺寸(WxDxH) | 1445mmx3330mmx1895mm |
設(shè)備重量 | ≈5000 kg | |
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