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概述
GR-410系列激光劃片機，配置進(jìn)口激光器，加工效率高，質(zhì)量穩(wěn)定， 設(shè)備簡單易操作；提供傳統(tǒng)矩形GPP晶圓的全切割/半切割劃片方式， 可升級提供六邊形劃切（三角形切割方式）。
全系列產(chǎn)品分為四款設(shè)備：
GR-410和GR-410Z兩款設(shè)備支持劃切產(chǎn)品為正面溝槽去除玻璃后的 GPP產(chǎn)品或晶圓背面制作標(biāo)記圖形的產(chǎn)品。正面對準(zhǔn)正面劃切，不支持 底部對準(zhǔn)功能。
GR-410D和GR-410DZ兩款設(shè)備擁有獨特的雙光路系統(tǒng)，為單面光 刻晶圓提供了背面劃切方案與背面打標(biāo)方案。正面對準(zhǔn)正面/背面劃切， 支持底部對準(zhǔn)功能。
性能指標(biāo)
劃切參數(shù) | 劃切對象 | 4寸至6寸GPP晶圓和硅晶圓 |
劃切方式 | 等距矩形切割，支持三角形切割（手動對準(zhǔn)） | |
激光參數(shù) | 光纖激光器，最大功率20W | |
劃切速度 | W250mm/s | |
切割精度 | ±0.003mm | |
切割線寬 | 0.035-0.055mm | |
切割深度 | <0.12mm | |
工作臺參數(shù) | 工作范圍 | 220mm*200mm |
工作臺分辨率 | 0.0005mm | |
旋轉(zhuǎn)電機行程 | 360° 185° | |
旋轉(zhuǎn)電機定位精度 | 30” | |
Z向定位精度 | 0.01mm | |
Z向激光調(diào)焦行程 | 20mm | |
其他 | 自動對位范圍 | 35mil-305mil |
自動對位精度 | 0.01mm | |
外形尺寸 (WxDxH) mm | GR-410/GR-410D | 760x1165x1650 |
GR-410Z/GR-410DZ | 940x1165x1650 | |
設(shè)備重重kg | GR-410/GR-410D | 750 |
GR-410Z/GR-410DZ | 800 |
產(chǎn)品特色
●底部對準(zhǔn)
●背面打標(biāo)
●自動上下料
●自動對位
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